Modern hassas denetim sistemlerinde sensörler ve problar tarafından toplanan tüm veriler, istikrarlı ve güvenilir bir geometrik kökene dayanır. Birçok ekipman geliştiricisi prob doğruluğunu optimize etmeye ve sensör örnekleme sıklığını artırmaya odaklanır, ancak referans taşıyıcıdan kaynaklanan hataları gözden kaçırma eğilimindedirler. Referans yüzeyi küçük bir deformasyona uğradığında, üst düzey problar bile ölçülen tüm verilerde sistematik sapmalar üretecektir. Yüksek düzlükteki granit muayene tabanı bu temel destekleyici rolü üstlenir ve çeşitli sensörler ve problar için sürekli olarak istikrarlı ve güvenilir bir referans taşıyıcı oluşturur. UNPARALLELED Group, ultra hassas bileşenlerin Ar-Ge ve üretimine dayanarak, optik, yarı iletken ve metroloji muayene ekipmanlarına yönelik sensörlerin ve probların çalışma koşullarına uyarlanmış granit referans tabanları geliştirmeye devam ediyor.
Sensörlerin ve probların ölçüm mantığı esasen karşılaştırmalı ölçümdür. Problar tarafından yakalanan boyut, kontur ve konum verilerinin tümü, taban plakası yüzeyini referans orijini olarak alır. Metal platformlar sıcaklık değişimleri altında genleşmeye ve büzülmeye eğilimliyken, sıradan taşın iç gerilimi sürekli olarak serbest bırakılır ve bu da plaka yüzeyinin yavaş dalgalanmasına ve sondaların sıfır kaymasına yol açar. Bu tür sapmalar hemen ortaya çıkmaz, ancak sıcaklık değişimi ve titreşimle birlikte birikerek sensörlerin tekrarlanan konumlandırma doğruluğunu kötüleştirir ve aynı iş parçası için birden fazla testte tutarsız ölçüm sonuçlarına neden olur. Yoğun kristal yapısı ve mükemmel termal kararlılığıyla UNPARALLELED® siyah granit, sıcaklık dalgalanmasının neden olduğu plaka bükülmesini maksimum ölçüde sınırlar ve referans yüzeyinin uzun vadeli sabit geometrik şeklini koruyarak her sensör ve prob koleksiyonunun tutarlı ve değişmeyen bir referans üzerine inşa edilmesini sağlar.
Farklı türdeki problar ve sensörler, referans yüzeylerinin mikro durumu için farklı gereksinimlere sahiptir. Temaslı problar düz, aşınmaya ve çizilmeye dayanıklı plaka yüzeyleri gerektirir; lazer sensörleri ve optik görüntüleme sensörleri, yerel yansıma ve yüzey kusurlarından kaynaklanan optik görüntüleme girişimini önlemek için referans yüzeyinin tekdüze ve kararlı mikro-morfolojisini gerektirir. Sıradan işlenmiş plakalardaki işleme hatları ve gözenek kusurları, optik sensör görüntülemeyi bozar ve hatta temaslı ölçüm kafaları için probların anormal şekilde aşınmasına neden olur. UNPARALLELED Group, granit plaka yüzeylerinde ince şekillendirme ve gözenek kapatma işlemini gerçekleştirmek için dereceli ultra hassas taşlama işlemini benimser. Yüksek düzlük göstergelerine ulaşırken plaka yüzeylerinin mikro dokusunu optimize eder, hem temaslı probların hem de temassız optik sensörlerin uygulama taleplerini karşılar ve referans yüzeylerindeki mikro kusurların neden olduğu ölçüm gürültüsünü önler.
Dinamik denetim çalışma koşulları altında, titreşim girişimi doğrudan problara ve sensörlere iletilecek ve ölçüm hatalarını artıracaktır. AOI görsel inceleme, XY lineer motor platformları ve lazer kontur tarama gibi senaryolarda problar yüksek hızda çalışır. Taban titreşim nedeniyle hafifçe sallandığında, sensör sinyallerinde karışıklık ortaya çıkacaktır. Yüksek düzlük yalnızca statik bir gösterge değildir; tabanın genel sağlamlığı ve titreşim izolasyon kapasitesi de aynı derecede hayati öneme sahiptir. Tabanların yapısal tasarım aşamasında, UNPARALLELED Group, genel ekipman yüküyle birlikte mekanik simülasyon yürütür, genel sağlamlığı artırmak için taban kirişlerinin yerleşimini ve duvar kalınlığını optimize eder ve harici titreşim iletimini zayıflatmak için makul bir destek planıyla işbirliği yapar. Referans plakası yüzeyine aktarılan titreşimi azaltır ve prob taraması ve sensör örneklemesi sırasında referans stabilitesini garanti ederek dinamik ölçümdeki rastgele hataları azaltır.
Metroloji izlenebilirliğinin tutarlılığı, sensörlere ve problara hizmet veren referans yüzeylerin temel değerini temsil eder. Ekipman fabrikası kalibrasyonu ve düzenli yerinde doğrulama, taban plakası yüzeyine dayalı olarak prob kalibrasyonu gerektirir. Referans yüzeyinin düzlüğünde bölgesel sapmalar mevcutsa, farklı konumlarda kalibre edilen prob parametreleri tutarsız olacak ve bölgeler arası iş parçası muayenesi sırasında sapmalar meydana gelecektir. Bitmiş ürün inceleme aşamasında, UNPARALLELED Group, plaka yüzeyleri için tam alanlı ızgara örneklemesi ve haritalama gerçekleştirmek ve tam alan düzlem konturunu tamamen kaydetmek için lazer interferometreler ve yüksek hassasiyetli elektronik seviyeler kullanır ve tüm plakanın eşit şekilde yüksek düzlük standartlarına ulaşmasını sağlar. Tüm ölçüm araçlarının ulusal metroloji kurumlarına kadar izlenebilmesi, referansın izlenebilirliğini garanti eder ve sensörlerin ve probların kalibrasyon sonuçlarının güvenilir ve tekrarlanabilir olmasını sağlar.
Yarı iletken denetimi ve PCB hassas denetiminden yeni enerji lityum pil denetim senaryolarına kadar sensörler ve problar, daha yüksek çözünürlük ve daha hızlı örnekleme hızına doğru ilerlemeye devam ederek referans taşıyıcılara yönelik gereksinimleri sürekli olarak artırıyor. Prob doğruluğu ne kadar hassas olursa, referansın getirdiği hataların ağırlığı da o kadar yüksek olur. Metroloji enstitüleri ve üst düzey ekipman işletmeleri ile uzun yıllara dayanan işbirliği deneyimine dayanan UNPARALLELED Group, granit ana malzeme seçimi, şekillendirme ve muayeneye ilişkin tüm sistemi sürekli olarak optimize etmektedir. Çeşitli yüksek hassasiyetli sensörleri ve probları taşımak için temel geometrik referans olarak sabit, yüksek düzlükteki plaka yüzeyini alır ve küresel ultra hassas denetim ekipmanı için sağlam bir ölçüm temeli oluşturur.