Yarı iletken üretiminin arka uç optik inceleme aşamasında, referans taşıyıcıların son derece sıkı gereklilikleri karşılaması gerekir. AOI ekipmanı, görüntüleme sistemleri aracılığıyla mikron altı düzeydeki ayrıntıları yakalayarak levhalar ve paketlenmiş cihazlar üzerindeki görünüm kusurlarını tanımlar. Birçok ekipman üreticisi, optik algoritma optimizasyonuna ve hareket platformu yükseltmelerine yoğun yatırım yapıyor, ancak çoğu zaman, uzun vadeli denetim tutarlılığını doğrudan belirleyen, tüm optik sistemin referans iskeleti olan alt tabakayı gözden kaçırıyorlar. Yarı iletken temiz odaların karmaşık çalışma koşulları altında, dökme demir, alüminyum alaşımı ve sıradan taş, parçacıksız çalışma, düşük deformasyon, mikro titreşim direnci ve uzun süreli hassasiyet muhafazası dahil olmak üzere birden fazla gereksinimi aynı anda karşılamakta zorlanır. Bu nedenle ultra hassas granit, üst düzey yarı iletken AOI ekipmanları için tercih edilen alt tabaka malzemesi haline geldi.
1. Temiz oda ortamlarında parçacık içermeyen performans
Yarı iletken atölyeleri sıkı toz kontrol standartlarını benimser. Herhangi bir küçük toz veya döküntü serpintisi bileşenlerin hurdaya çıkmasına neden olabilir. Metal alt tabakalar, uzun süreli döngüsel yükleme altında aşınma ve metalik parçacıklar oluşturma eğilimindedir; eskimiş ve soyulmuş kaplamalar da kirletici maddelere neden olur ve temiz oda bakım basıncını artırır. Gözenekli düşük dereceli mermer, yumuşak dokuya sahiptir ve sürtünme üzerine toz saçar, yarı iletken uygulamalar için tozsuz montaj gereksinimlerini karşılayamaz.
UNPARALLELED® siyah granit, yoğun kristal yapıya ve ultra düşük gözenekliliğe sahiptir. Ultra hassas taşlamanın ardından ufalanmaya ve toz oluşumuna karşı dayanıklı, sürekli, kompakt bir yüzey tabakası oluşturur. Bitirme, temizleme ve montaj, tozsuz, sabit sıcaklıktaki bir atölyede tamamlanır. Bitmiş alt tabaka yüzeyi sabit kalır ve optik bölmeleri ve yarı iletken iş parçalarını kirleten partikül maddeyi serbest bırakmaz. Bu özellik, yarı iletken tozsuz üretim hatlarının katı gereksinimlerini karşılar ve metal ve sıradan taşla karşılaştırılamayan temiz bir özellik olan malzeme soyulmasının neden olduğu verim risklerini önler.
2. Yarı iletken atölyelerinde sıcaklık değişimleri altında bastırılmış boyutsal kayma
Yarı iletken atölyeleri sabit sıcaklığı korusa da, dahili ışık kaynaklarından ve hareket modüllerinden sürekli ısı üretimi, yerel sıcaklık değişimleri yaratır. Metal malzemeler yüksek termal genleşme katsayılarına sahiptir. Küçük yerel sıcaklık artışları kısmi deformasyonu ve alt tabaka bükülmesini tetikleyerek optik lensler ile test edilen iş parçaları arasındaki göreceli konumu değiştirir ve toplu denetimde yanlış kararlara yol açar.
Yoğun kristal yapısı sayesinde granit, ultra düşük termal genleşme katsayısına sahiptir ve yerel sıcaklık farklılıklarına minimum düzeyde deformasyon tepkisi gösterir. AOI ekipmanının uzun saatler boyunca aralıksız çalışması sırasında bile, dahili ısı kaynaklarının neden olduğu sıcaklık değişiklikleri alt tabaka referans düzleminin yerini zar zor değiştirir. Bu tür bir termal stabilite, seri üretim döngüleri boyunca ekipmanın ısınmasıyla koordinat kriterlerinin sapmamasını sağlar ve levhalar ve paketlenmiş bileşenler üzerindeki mikro kusurların tutarlı bir şekilde tanımlanmasına olanak tanır.
3. Çok kaynaklı mikro titreşime karşı direnç gösterin ve optik görüntüleme kriterlerini koruyun
Yarı iletken üretim hatları çeşitli titreşim kaynakları içerir: bitişik makinelerin çalıştırılması ve kapatılması, manipülatör hareketleri, klima sistemlerinden kaynaklanan hava akışı bozukluğu ve zeminlerden iletilen düşük frekanslı titreşim. Hafif titreşim, optik görüntüleri bulanıklaştırır ve AOI'nin gerçek kusurları, görüntü titremesinden kaynaklanan kusurlardan ayırt edememesine neden olur.
Metal yapılar düşük sönümlemeye sahiptir ve dış kuvvetler tarafından uyarıldığında titreşimi artırarak rezonansa eğilimlidir. Sıradan taş, düzensiz iç bileşime ve dengesiz titreşim zayıflamasına sahiptir. BENZERSİZ granitin doğal yüksek sönümleme yapısı, çok frekanslı mikro titreşim enerjisini hızla dağıtır ve optik görüntüleme modüllerine doğru titreşim iletimini engeller. Tek parça monolitik işleme ile birleştirildiğinde, ekleme boşluklarındaki titreşim kırılması ortadan kaldırılır. Tüm optik ve hareket modülleri tek bir sabit ve sert tabanı paylaşarak düzenekler arasındaki göreceli sarsıntıyı azaltır ve keskin kusur görüntülemeyi garanti eder.
4. Yarı iletken fabrikalarında arıza süresi kalibrasyonunu azaltmak için uzun vadeli kıyaslama istikrarı
Yarı iletken üretim hatları yüksek ekipman kullanımını amaçlıyor. Kalibrasyon için kesinti süresi doğrudan çıktıyı azaltır. Metal yüzeyler stres yaşlanmasından muzdariptir; Deformasyon, bir hizmet süresinden sonra iç gerilimin serbest kalması nedeniyle meydana gelir ve sık sık sökme ve yeniden kalibrasyon gerektirir. Sıradan taş, zamanla referans düzleminin aşınmasına ve kademeli olarak bozulmasına karşı hassastır.
Granit boşlukları, artık gerilimi serbest bırakmak için yeterli yaşlanma işlemine tabi tutulur. Bitmiş alt tabakalar sabit iç gerilim durumunu korur ve zamanla kendiliğinden deforme olmaz. Yüksek yüzey sertliği ve aşınma direnci, XY platformlarından tekrarlanan yüklemeler altında referans düzlemlerinin bozulmasını yavaşlatır. Sıkı metroloji kontrolü altında, bitmiş yüzeyler uzun süreler boyunca kıyaslama hassasiyetini korur, kalibrasyon döngülerini büyük ölçüde uzatır, üretim kesintisi kayıplarını en aza indirir ve üretim hatlarının etkin çalışma süresini artırır.
5. Rijitliği ve işleme doğruluğunu dengelerken özelleştirilmiş büyük boyutlu yapıları destekleyin
Yeni nesil yarı iletken AOI sistemleri, daha büyük alt tabakalar gerektiren daha geniş tarama hareket aralıkları gerektirir. Büyük metal iş parçaları kolaylıkla döküm kusurlarına ve işleme stresine maruz kalır, bu da büyük boyutlu işlemeyi zorlaştırır. Birleştirilmiş taş parçalar, bağlantı hassasiyeti hatalarına ilişkin gizli riskler taşır.
Ağır hizmet tipi CNC ekipmanı ve gelişmiş ultra hassas taşlama teknolojisi ile donatılmış UNPARALLELED, entegre sağlamlık ve nanometre düzeyinde düzlüğe sahip büyük monolitik granit alt tabakalar üretir. İşleme sonrasında, lazer interferometreler ve yüksek hassasiyetli elektronik seviyeler de dahil olmak üzere ithal metroloji cihazlarının tam setleri, çok boyutlu inceleme için devreye alınır ve ölçüm sonuçları ulusal metroloji enstitülerine göre izlenebilir. Özel montaj referansları, dişli delikler, konumlandırma olukları ve hava yatağı montaj yüzeyleri, yarı iletken AOI makinelerinin genel düzenine göre üretilebilir ve optik modüller, doğrusal motor platformları ve ışık kaynağı bileşenleri için montaj kıyaslama gereksinimlerini doğrudan karşılar.
Çözüm
Yarı iletken AOI sistemleri için alt tabaka, destekleyici bir platformdan çok daha fazlasıdır. Tüm optik denetim sistemi için hassas bir ölçüt görevi görür. Granitin avantajları, temiz oda uyumluluğu, düşük termal kayma, çoklu frekanslı titreşim bastırma, uzun vadeli kıyaslama stabilitesi ve özelleştirilmiş büyük boyutlu işleme yeteneğidir. Bu özellikler, yarı iletken üretim hatlarının yüksek temizlik, yüksek çalışma süresi ve mikron altı denetime yönelik katı gereksinimlerine mükemmel şekilde uyar. Bu kadar kapsamlı performans, ultra hassas granit alt katmanları, üst düzey yarı iletken AOI ekipmanı için temel referans bileşenleri haline getiriyor.